Процесс электронно-лучевой

Электронно-Лучевая Литография

Описание

Имеются две системы электронно-лучевой литографии – сканирующая и проекционная.

В сканирующей электронно-лучевой литографии резист экспонируется (сканируется) последовательно перемещаемым в плоскости рисунка фокусированным пучком электронов. Управление электронным лучом производится по определенной программе с помощью компьютера, поэтому не нужно применять какие-либо шаблоны или маски, но последовательное сканирование всего рисунка увеличивает время экспонирования.

В проекционной электронно-лучевой литографии широкий нефокусированный поток электронов используется для получения всего рисунка в течение одной экспозиции. В такой системе фотокатод расположен на поверхности оптической маски с заданным рисунком. Ультрафиолетовые лучи облучают фотокатодный слой через маску, что вызывает эмиссию электронов с фотокатода в облученных местах рисунка. Эти электроны проецируются на поверхность резиста с помощью однородных электростатических и магнитных полей. В результате на всей площади подложки рисунок создается за одну экспозицию.

Иллюстрации

Рис. 1. Проекционная система электронно-лучевой литографии.

Рис. 2. Сканирующая система электронно-лучевой литографии.

Источник: thesaurus.rusnano.com
Видео на тему
Дизайнерская Бумага и Картон. ДУКАТ @ Обзор №4
Дизайнерская Бумага и Картон. ДУКАТ @ Обзор №4
Дизайнерская Бумага и Картон. ДУКАТ @ Обзор №2
Дизайнерская Бумага и Картон. ДУКАТ @ Обзор №2
Дизайнерская Бумага и Картон. ДУКАТ @ Обзор №3
Дизайнерская Бумага и Картон. ДУКАТ @ Обзор №3
Расказать о статье друзьям

Похожие статьи

Цифровая Печать Открыток

Цифровая Печать Открыток

SEPTEMBER 28, 2020

БЫСТРО ! - Напечатаем открытки, пока Вы пьете кофе / от 10 минут / наценка за срочность - 0% ГАРАНТИРОВАНО ! - Высокое качество…

Читать далее
Цифровая Печать как Бизнес

Цифровая Печать как Бизнес

SEPTEMBER 28, 2020

Лариса Сухова, менеджер по работе с корпоративными клиентами компании «Копитан»: Ни для кого ни секрет, что многие компании…

Читать далее